补液器原理

补液器的原理是在定压、流量相同条件下，通过控制补液时间来精确控制补液量，当清洗槽每清洗一批硅片后补液装置就适时向清洗槽中补液，这就是人们所述的微量精补装置，有了这种微量补液装置，清洗槽中清洗液的化学浓度的变化波动值就能得到有效控制，从而提高了硅片的清洗质量。