短波UVC 短波紫外线，中波UVB 中波紫外线，长波UVA。
极紫外(EUV)光源主要有两种：一种是用放电产生的等离子体来发射EUV光子（discharge-produced plasma，DPP）另一种是用激光激发的等离子来发射EUV光子（laser-...
极紫外光，又称极端紫外线辐射，是指电磁波谱中波长从121纳米到10纳米的电磁辐射。
根据普朗克-爱因斯坦方程，其光子能量从10.25电子伏特到124电子伏特（分别对应于121纳米到10纳米）。
自然现象，如太阳日冕等高温天体，可以产生极紫外光人工方法，包括：等离子体和同步辐射光源等。
