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晶圆搬运机械手原理

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晶圆搬运机械手原理

伯努利原理。

晶圆搬运机械手的原理是伯努利吸附原理。伯努利原理可以表述为:在水流或气流里,如果速度小,压强就大,如果速度大,压强就小。伯努利机械手的喷气口中喷出的气体遇到圆盘的表面后,气体自圆盘上表面迅速扩散,使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度,此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压,因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆,把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后,机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附,伯努利机械手吸附晶圆,把晶圆从真空卡盘上取下,并带出工艺腔室。