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kmate射频电源设置方法:
检查射频电源是否输出正常,入射功率和反射功率比较。如果入射正常,反射很大,检查匹配器。
如果入射功率不能达到设定功率,过小,检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作,将气体流量加大,中和器打开,再测
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