首先确认真空泵已断电，打开油塞，注入真空泵专用油至视镜中间部位，最好把油塞旋紧。维护中要严格按照5定的原则进行补充油。
加油的方法步骤如下：
1、将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉。
2、关闭抽气口，同时开启旋片式真空泵，打开气镇阀和遮盖真空泵的部分排气口，以产生一个足够的内部压强，使脏油迅速地放出。
3、拧开排油阀，将泵体油箱抬高让真空泵内旧油自动地流到旋油螺帽位置让油流出。
4、旧油放尽后，从真空泵加油处注入少量的干净真空泵油(100~500mL)，冲洗真空泵腔内部，接着，开动真空泵运转1分钟左右，再关真空泵，将注入的新油放出。若放出的油仍不干挣，应继续注入新的杂油冲洗，直到干净为止。
5、拧紧排油阀，拧下加油孔上的加油帽，向真空泵内加入新的真空泵油，使油面达到油标线，再旋上加油帽。
1、将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。
2、旋下注油塞和放油塞，放出污油。
3、断续启动电机4-6次，使各真空小室内的油全部排出。
4、从各抽气管加入干净的真空泵油200-300CC。
5、断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经2-3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。
6、从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
7、换油尽量在油温升高后进行。
8、对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。
