原理：首先硅麦克风是一种微型传感器。主要利用声音的变化随而产生压力，然后通过压力的梯度，随之硅麦克风振膜发生形变，在改变声学振膜与硅背极板之间的电容值。
该电容值会随着电容电压转化为电路的变化而发生变化，再把电路放大，通过mems传感器把电压放大，形成电压信号。
想要是实现这个目的必须采用一个高阻压电阻，把它为作为mems的偏置电压。在电阻的帮助之下在传感器上面产生固定电荷，最后的输出电压和振膜的形变成正比。振膜的形变和刚性是分不开的，二者之间是成反比，即刚性越低形变越大。输出电压和气隙同样也是成反比，气隙越低，灵敏度反而越高。
