轮廓仪是用容易理解的机械技术测量薄膜厚度。它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度。轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜，包括不透明的厚金属膜。更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。获取反射光谱指南然而轮廓仪也有不足之处。首先，样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度，而小坎通常无法很标准。这样，标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。
是一种以非接触方式直接实现粗糙度、形状轮廓测量的仪器。
基恩士轮廓仪搭载了电动旋转单元。在旋转样品的同时进行测量，能够消除死角，再现真实的截面形状。可简单测量壁厚及凹陷尺寸。
另外，采用 HDR 扫描算法提升了扫描能力，即使是光学轮廓测量仪不擅长的有光泽的目标物或材料反光弱的目标物，也能瞬间判断理想条件，正确测量形状。与传统机型相比，能够将动态范围最大扩大到 1000 倍进行扫描。
