当气室内真空度至50Pa时，停止抽真空。然后维持2h，进行真空保持和真空度比较检漏。如果气室真空度不变，证明气室密封良好。如果发现真空度下降，则要找到漏气点，进行处理。
一般采用气泡法检漏，即给真空检漏不合格的气室充入高纯氮气至0.3MPa，然后静置2h，用肥皂水涂满所有密封面及焊缝处，根据肥皂水在漏气点产生的气泡而发现漏点。
对发现漏点的气室进行妥善处理后，要再次进行抽真空和真空检漏的步骤，直到检漏合格。
gis抽真空工艺标准
抽真空达到气室内绝对压力小于133Pa后，继续维持真空泵运行30分钟，停泵并隔离。静置30分钟后读取气室绝对压力值A，再静置5小时后读取绝对压力值B。当B-A的值小于67Pa时，气室密封方为合格。
