mems陀螺仪工作原理

利用相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。

memS陀螺仪（Micro-Electro-Mechanical Systems）是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。