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电透镜原理

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电透镜原理

电子透镜是利用电磁场的作用会聚电子束或离子束的透镜。用于电子显微镜。

有利用电场使电子束会聚的静电透镜(电场透镜)和利用磁场会聚电子束的磁透镜(电磁透镜)。

电子透镜仅是用于使电子束会聚的凸透镜的功能,光学透镜不能像凹透镜那样使电子束发散,因此限制像差的选择受到限制。

根据电子光学,旋转对称的电场或磁场对近轴射线具有透镜效应。多极透镜是由没有旋转对称性的电场和磁场产生的一堆圆柱透镜。

电子透镜具有比光学透镜更大的光学像差。此外,由于还添加了基于电磁场的不稳定性的像差,因此有必要减小用于显微镜的电子透镜中的孔径角。