常见真空泵机组有哪几种

真空泵的分类：

按工作原理分类：

1、气体输送泵，包括变容真空泵、动量传输泵

2、气体捕集泵，包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。

按真空度分类：

1、粗真空度

2、高真空度，包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵

3、超高真空度。