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ITO靶材是一种铟锡氧化物靶材,通过磁控溅射法在玻璃基片或有机薄膜上镀一层透明的导电薄膜,即 ITO膜。ITO膜是目前氧化物膜中透光性和导电性最好的材料,因此 ITO靶材是显示面板必须的上游材料。
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