流化床的主要原理是将硅烷用氢气作为载体，像气流一样从流化床反应器底部注入，然后上升到中间加热区反应，因为有底部进料时候的气流源源不断的进入，可以让反应器内的籽晶沸腾起来，处于悬浮状态，注入的硅烷等原料和氢气在加热区发生反应，然后，随着反应的进行，硅逐渐沉积在悬浮状态的硅籽晶上，籽晶颗粒不断地生长，长大到足够重量的时候，硅颗粒沉降到反应器的底部，排出的就是颗粒硅。
多晶硅流化床工作原理
风从炉底吹入并透过堆放有煤粉及石灰石粉的料床的空洞进入炉膛，煤粉和石灰石粉被吹得在炉膛中翻腾和流动。其中石灰石粉与煤粉充分接触，以中和煤粉中的硫份。而流化状态的燃料也能够燃烧的比较充分
