技术参数：
a)材料：康宁E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7
b)标准厚度：0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm（厚度公差±0.02mm）
c)标准尺寸：Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"（其他尺寸可定制）
d)外观：60/4040/2020/10
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm
f)平行度<0.01mm
康宁E-XG玻璃晶圆基本性能：
技术参数：
Density/密度（g/cc）
2、3
Thermal Expansion/膨胀系数
3、0
Tran**ittance/透光率
＞90%
softening point/软化点
971℃
TTV/平整度
<0.005
Bow/翘曲度
<0.01
Warp/弯曲度
<0.01
Vickers Modulus/维氏硬度
640
